ZH5494射频CCP薄膜沉积装置

点击看大图

如果您对该产品感兴趣的话,可以

产品名称: ZH5494射频CCP薄膜沉积装置

产品型号: ZH5494

产品展商: ghitest

产品文档: *相关文档

简单介绍

本装置主要由薄膜沉积室、真空抽气系统、气源进气调节系统、衬底加热温度控制系统等部分组成。通过本实验装置可以掌握CVD（化学气相沉积）；理解CVD的成膜过程及要求，化学输运反应的原理，等离子体CVD的原理、特点及等离子体的激励方式；了解该在电学、光学、微电子学等领域的广阔应用前景。

ZH5494射频CCP薄膜沉积装置 的详细介绍

产品简介
本装置主要由薄膜沉积室、真空抽气系统、气源进气调节系统、衬底加热温度控制系统等部分组成。
通过本实验装置可以掌握CVD（化学气相沉积）；理解CVD的成膜过程及要求，化学输运反应的原理，等离子体CVD的原理、特点及等离子体的激励方式；了解该在电学、光学、微电子学等领域的广阔应用前景。
可开设的实验
1、P型微晶硅材料及在薄膜太阳能电池上的应用；
2、硅系纳米复合薄膜材料PCVD法制备；
3、电容耦合/电感耦合等离子体化学气相沉积制备**功能薄膜。
主要参数
1、薄膜沉积室：由不锈钢底与玻璃钟罩组成；**尺寸：Φ220×H230mm；
2、薄膜沉积室本底真空： ≤1Pa；
3、射频耦合方式：电容耦合/电感耦合；射频源功率：带500W 13.56MHz；
4、气路系统：由三路转子流量计控制（可选配流量计）；
5、衬底加热温度：室温至300℃可控；
6、平行板电：Φ70mm；
7、工作反应气体：由电板上微孔均匀导入；
8、真空抽气系统：2XZ-4型旋片机械泵，4L/S，单相220V交流电源供电；
9、管道、阀门：材质使用不锈钢和金属波纹管；
10、对过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施；
11、供电电源：AC220V，50Hz，整机功率2KW。

产品留言

标题

联系人

联系电话

内容

验证码

点击换一张

注：1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有*要,请您留下您的详细联系方式!